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專利狀態(tài)

一種組合式多頻率超聲波/兆聲波清洗裝置

有效

專利申請(qǐng)進(jìn)度

申請(qǐng)

2016-08-26

申請(qǐng)公布

2017-01-04

授權(quán)

2018-12-18

預(yù)估到期

2036-08-26

專利基礎(chǔ)信息

申請(qǐng)?zhí)?/td>	CN201610739227.7	申請(qǐng)日	2016-08-26
申請(qǐng)公布號(hào)	CN106269452A	申請(qǐng)公布日	2017-01-04
授權(quán)公布號(hào)	CN106269452B	授權(quán)公告日	2018-12-18
分類號(hào)	B06B1/06;B08B3/12
分類	一般機(jī)械振動(dòng)的發(fā)生或傳遞;
申請(qǐng)人名稱	北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司
申請(qǐng)人地址	北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)

專利法律狀態(tài)

2020-08-25

專利權(quán)人的姓名或者名稱、地址的變更

狀態(tài)信息

專利權(quán)人的姓名或者名稱、地址的變更；IPC(主分類):B06B1/06；專利號(hào):ZL2016107392277；變更事項(xiàng):專利權(quán)人；變更前:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司；變更后:北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司；變更事項(xiàng):地址；變更前:100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)；變更后:100015 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
2018-12-18

發(fā)明專利權(quán)授予

狀態(tài)信息

授權(quán)
2017-02-01

實(shí)質(zhì)審查的生效

狀態(tài)信息

實(shí)質(zhì)審查的生效；IPC(主分類):B06B1/06；申請(qǐng)日:20160826
2017-01-04

發(fā)明專利申請(qǐng)公布

狀態(tài)信息

公布

摘要

本發(fā)明公開(kāi)了一種組合式多頻率超聲波/兆聲波清洗裝置，包括本體和超聲波/兆聲波頻率控制單元，本體內(nèi)設(shè)有超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)和底部石英部件，超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)設(shè)有若干具有不同固有頻率并組合為整體的壓電材料，底部石英部件設(shè)有石英微共振腔陣列，石英微共振腔陣列自本體下端面的開(kāi)口伸出，超聲波/兆聲波頻率控制單元連接在信號(hào)源和壓電材料之間，可通過(guò)石英微共振腔陣列對(duì)傳播方向與晶圓表面方向不垂直的超聲波/兆聲波能量進(jìn)行選擇性去除，并通過(guò)超聲波/兆聲波頻率控制單元將不同頻率的電信號(hào)隨機(jī)導(dǎo)入對(duì)應(yīng)的壓電材料，使超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的超聲波/兆聲波振動(dòng)頻率動(dòng)態(tài)變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)圖形晶圓的無(wú)損傷清洗。

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