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專利狀態(tài)
一種能量均勻分布的超聲波/兆聲波清洗裝置
有效
專利申請(qǐng)進(jìn)度
申請(qǐng)
2016-08-26
申請(qǐng)公布
2017-01-18
授權(quán)
2019-08-20
預(yù)估到期
2036-08-26
專利基礎(chǔ)信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610741151.1 申請(qǐng)日 2016-08-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN106340477A 申請(qǐng)公布日 2017-01-18
授權(quán)公布號(hào) CN106340477B 授權(quán)公告日 2019-08-20
分類號(hào) H01L21/67;H01L21/02;B08B3/12
分類 基本電氣元件;
申請(qǐng)人名稱 北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司
申請(qǐng)人地址 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
專利法律狀態(tài)
  • 2020-09-01
    專利權(quán)人的姓名或者名稱、地址的變更
    狀態(tài)信息
    專利權(quán)人的姓名或者名稱、地址的變更；IPC(主分類):H01L 21/67；專利號(hào):ZL2016107411511；變更事項(xiàng):專利權(quán)人；變更前:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司；變更后:北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司；變更事項(xiàng):地址；變更前:100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)；變更后:100015 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
  • 2019-08-20
    發(fā)明專利權(quán)授予
    狀態(tài)信息
    授權(quán)
  • 2017-02-15
    實(shí)質(zhì)審查的生效
    狀態(tài)信息
    實(shí)質(zhì)審查的生效；IPC(主分類):H01L 21/67；申請(qǐng)日:20160826
  • 2017-01-18
    發(fā)明專利申請(qǐng)公布
    狀態(tài)信息
    公布
摘要
本發(fā)明公開了一種能量均勻分布的超聲波/兆聲波清洗裝置，在本體內(nèi)設(shè)有超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)和底部石英部件，超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)設(shè)有壓電材料，底部石英部件設(shè)有石英微共振腔陣列，石英微共振腔陣列自本體下端面的開口伸出，可通過(guò)石英微共振腔陣列對(duì)傳播方向與晶圓表面方向不垂直的超聲波/兆聲波能量進(jìn)行選擇性去除，并通過(guò)超聲波/兆聲波能量控制單元根據(jù)實(shí)時(shí)位置反饋單元從噴淋臂旋轉(zhuǎn)電機(jī)采集的本體在晶圓表面的相對(duì)位置信息，對(duì)信號(hào)源輸出電信號(hào)進(jìn)行調(diào)整，經(jīng)壓電材料轉(zhuǎn)換后，使晶圓表面的任意位置在單位時(shí)間內(nèi)獲得同樣的超聲波/兆聲波能量，從而實(shí)現(xiàn)整個(gè)晶圓范圍內(nèi)超聲波/兆聲波能量的均勻分布。
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